作者anthon555 (彦)
看板NEMS
标题[问题] 压电PZT材料乾蚀刻
时间Wed Jan 21 20:42:51 2015
各位先进想请教一下，本身在清大做PZT这种压电材料的元件，之前有尝试过一些机台了，
，但因为某些因素无法继续使用，想在这边问问看不知道有没有人有建议的管道，
甚麽方式都好，期望能突破盲点。
P.S 目前有尝试过新竹、台大这两边的机台。
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