作者frank0910 (fery)
看板NEMS
标题[问题] 193 及 248 nm 光源
时间Thu Dec 18 22:31:29 2014
请教各位
老板要小的去了解 上述 2 个光源
想做奈米结构的光阻曝光, 因为完全不了解希望能帮帮忙
要做的是线宽/线距=50/50 nm ....
1. 是否是要使用ArF or KrF 的Laser光源制作
2. 网路上哪有关於 ArF or KrF 光源的基本介绍
3. 这种光源大约会要多少钱呢？
4. 使否要使用特殊光罩搭配
5. 台湾找得到代理这种光源设备的厂商吗？
抱歉, 问题或许比较幼稚也可能有观念上的错误, 希望大家指教
谢谢
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1F：推 jeffdon2: 248nm光源的曝光机不一定是用laser，用汞灯在去过滤 12/19 19:56
2F：→ jeffdon2: 这个波长范围出来也是OK的，南部NDL就有248nm的曝光机 12/19 19:58
3F：→ jeffdon2: 至於你的线宽50nm.....，这要用EBL作了吧XD 12/19 20:01
4F：推 SkyLark2001: 这两种波长尤其193基本上就是现在半导体制程黄光 12/20 09:02
5F：→ SkyLark2001: 的主力。基本上你要用投影式的曝光机帮你做50nm，除 12/20 09:03
6F：→ SkyLark2001: 非你可以找的到50nm线宽以下的晶圆厂帮你代工，不然 12/20 09:04
7F：→ SkyLark2001: 设备是一般人买不起的。所以如同J兄所言，请爱用EBL 12/20 09:04