作者ymjdh (低调的地鼠)
看板NEMS
标题[问题]请问固定样本的胶带
时间Tue Nov 11 18:32:35 2014
不好意思，我这一阵子想将sample的破片委托其他的Lab
的E-beam做曝光，显影完後再不去光阻的情况下带回来进一步加工
但是因为担心会触碰到sample表面的PR
想请问一下各位先进有没有什麽方法可以避免sample碰撞跟接触表面的
还可以比较方便取出的?
我想过拿真空胶带贴在sample角落，但担心不方便OP取出
而且还要OP愿意帮我贴回去
背面贴双面胶的话又担心会有残留物或造成污染
请问有什麽方法吗?
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