作者Tsuyokunaru (小强)
看板NEMS
标题[问题] 孔洞有助於温度均匀分布?
时间Thu Jun 5 00:13:16 2014
看了一篇paper
MEMS Electronic Nose
里面其中一段提到heater的设计
看得不是很懂
http://ppt.cc/fhED
第三行到第五行 这段到底是指? 究竟热的逸失重要还不重要?
第六到八行 是指该heater是由两层材料以上组成的吗 (polysilicon layer+其他)
然後这样会使其温度不至於高到跟只加热单一polysilicon层一样?
(那干嘛不控制加热的温度就好?)
然後再来提到为使温度分布均匀 会在heater上挖直径30奈米的圆孔
http://ppt.cc/CIEK
为何挖孔可使温度分布均匀?
问题很多Q___Q
希望有人可帮我解惑 谢谢
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1F：→ cku100:这篇不是paper吧 好像只是project作业 06/08 17:30