矽晶圆的级别 Prime grade: 品质最佳，适用於几乎大部分主要IC类的制造，以及各类最先进的制程 内部几乎无缺陷存在 test grade: 学术研究中普遍使用，价格与品质的折衷。有一大部分是制造矽晶圆後若品直无法通过 prime grade测试，便会标记为test grade。 还有一种折中的叫EPi wafer 会在晶圆表面deposit 一层epi layer，让晶圆表面更平更无缺陷 ※ 引述《zenk9980 (包子)》之铭言： : 各位先进们好 : 小弟想请教一下4寸矽晶圆在购买时业务说有分等级 : 最高是prime ,最阳春的是test : 想请问一下这两种矽晶圆的差别?因为价差一倍 : 业务也不知道明确的差在哪里 : 另外因为小弟买这Wafer是要做FET元件使用 : 应该是用prime比较好还是test? : FET的氧化层厚度一般来说镀多少奈米会比较好呢 : (之前的学长是用270nm 的SiO2)? : 查了一些文献也都大概在 300 nm : 不过因为没有做过所以上来请教 : 不好意思麻烦大家了.谢谢 -- 本球队一切依法行政，谢谢指教。 --

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