作者uehara19k ()
看板NEMS
标题[问题] 关於RIE侧壁不够垂直
时间Mon Mar 3 23:53:14 2014
各位大大好
我的材料是四族
深宽比约0.1
使用的光阻是AZ5214(2000rpm)
post bake 150度10min(hot plate)
RIE用的气体是CF4(80%) O2(10%) Ar(10%)
RF power 30w
目前吃出来的图形总是会呈现梯形___◢████████◣___
离老师要求的垂直侧壁 ___██████████___
还差很远Orz
请问我该如何改进才能达到我的要求呢??
抱歉这问题可能有点浅，但我念机械出身半导体制程实在很苦手...
麻烦各位解答了
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※ 编辑: uehara19k 来自: 140.123.123.208 (03/04 13:14)
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