作者Jeffch (Jeff)
看板NEMS
标题Re: [问题] PDMS翻膜线宽180nm的光栅形结构
时间Sat May 11 01:12:19 2013
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
: ◆ From: 174.54.69.214
: 推 tengyuan:感谢大大,我在SEM看不到有倒下的痕迹,也没有不平的痕迹 05/10 17:51
: → tengyuan:如果我放在室温下让他固化,脱模的时候是不是很容易弄断? 05/10 17:52
(抱歉不太会用推文回一大段,让我再占用一下版面)
如前文所说的固化温度或影响其弹性系数与硬度(有文献可查),至於其会不会断裂
可能要请tengyuan自行判断,考量其
aspect ratio/hardness/Young's modulus/Van der Waals Force (nano-scale)
所造成的机械特性差异,也有文献讨论过。
然而回到最根本的问题,原PO的PDMS到底有没有成功灌注进入模内??
首先原PO指出1. 母模可以看出绕射图案=>表示母模有制作成功
2. 脱模後的PDMS上有印子=>有(部分?)灌注
3. PDMS上看不出绕射==>留下待会讨论
还是建议tengyuan取得母模深度资料,否则以下讨论也只是瞎子摸象:
1. 根据绕射公式ndsinθ=mλ,(n:refractive index,
d:period,
θ:diffraction angle,
m:diffraction order,
λ:diffraction wavelength for m-th order )
因为不知道深度所以仅用以上简易绕射公式,无法知道其绕射效率(diffraction
efficiency)
母模周期是d=360nm,Si折射率约为n~4 (等效周期nd=1440nm),所以随着观看角度不同
母模应可以呈现紫色到红色的变化(即使深度仅为~100nm)。
然而对於PDMS而言,n~1.4,等效周期仅为~500nm (或更小),所以即使观测角度很大,
也顶多是看到蓝紫色,且由於深度未知所以无法判断其绕射效率,如深度仅为100nm,
那普通光源应是无法观察,看到的样子就会如原PO说的"有印子但无绕射"。
如果有印子话还是建议原PO再花点时间看SEM,因为charging的关系可能要多试试不同
的设定,如电压太低可能无法成像,电压太高会有严重的charging,甚至会打坏结构,
另外也可以使用不同的模式,如secondary electron detector/the in-lens detector
,同时也可切开母模看剖面(也有可能PDMS断在里面)。
就我个人而言,现有的实验结果我会先尽量观察,以找出改进的方法(如:倒了、断掉、
部分灌入、还是根本没进去?),而不是再贸然更动实验参数增加变因。
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 174.54.69.214
1F:推 tengyuan:J大,将PDMS倒入时一定要顺着沟槽到吗? 05/13 12:29