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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc) : ◆ From: 140.117.32.54 : 推 Jeffch:深度是多少? 05/09 05:43 : 推 xneptunex:用正己烷稀释PDMS看看 05/09 09:51 稀释可以降低PDMS黏稠度，在第一步抽真空的时候能让使配好的PDMS内气泡较快被抽光 : → tengyuan:深度没量过，有用AFM量过但不准，凹下去的部分变尖的 05/09 13:41 : → tengyuan:有拍过SEM看正面，感觉应该是接近方波状，所以才觉得AFM 05/09 13:42 : → tengyuan:不准，甲苯可以取代正己烷稀释吗?? 05/09 13:43 两种我都用过，皆可溶PDMS，toluene挥发比较快，hexane较慢 : → tengyuan:因为样品只有一块，有非接触可量出深度的仪器吗? 05/09 13:46 : → tengyuan:我们学校有Alpha-Step，他解析度算高且是非接触的吗? 05/09 13:48 : → tengyuan:请问一下，如果我在基板上打了氧电浆和上脱膜剂，是否可 05/09 15:58 : → tengyuan:以增加成功率? 05/09 15:59 : 推 s75287:应该要切开看侧面...y 05/09 16:14 : 推 s75287:Alpha-Step 是接触式的 应该伸不进去你的孔洞 05/09 16:52 应该只有切开一途 : 推 s75287:脱模剂可能要挥发式的silane才行 ... 05/09 16:53 一般常见的silanization就只是把些许silane置入desiccators，放入sample後抽气，腔 内低压有助silane挥发，silane会自行在sample表面形成一个self-assembled monolayer (SAM)。 除了vapor-phase外其实还有liquid-phase的，据说效果还更持久，但我个人没用过。 至於原PO用蒸镀的方式我倒是没做过。 : 推 s75287:但是我觉得流不进去是里面卡空气的关系.... 05/09 16:54 : 推 s75287:稀释+抽真空才是王道... 05/09 16:54 当PDMS浇铸上孔穴时，因为表面张力(表面处理)的原因会让PDMS自行灌满孔穴，其过程 依aspect ratio不同，时间可能从几秒到几分钟，有文献报导其灌满的过程(理论计算 +实验)，如果表面处理没做好造成孔穴内有空气，之後再怎麽抽都无法把空气抽出来。 反之，如果一开始表面处理有做好，PDMS会自己被"吸"进去 : → tengyuan:让pdms自然固化是不是比用烘烤来的好? 05/09 21:34 : 推 s75287:感觉还是有一点差...说不出来的感觉...自己体会一下XD 05/10 10:56 : → tengyuan:s大，你就得用烤的会比自然固化来的好? 05/10 11:51 PDMS在不同温度下固化会造成硬度不同，有文献报导其固化温度与Young's Modulus间 的关系，基本上温度越高越硬，如果是室温固化PDMS硬度大概跟橡皮筋一样 XDD， 所以即使有翻模成功，可能出来也的东西都是倒的。 一开始请教原PO的sample深度是想确定模子aspect ratio，确实做过表面处理的模子应 可以翻出aspect ratio 1:5~1:10的形状。然而因为硬度的关系超过一定aspect ratio 的PDMS会受 1.相邻PDMS间作用力 2.与基板间作用力影响而倒下或彼此沾黏。 所以原PO的SAMPLE可能有翻模成功 (因有看到印子)，但是都倒了或是彼此黏在一起(故 看不到绕射)，PDMS因为导电性比较差，所以在这尺度本来就需要花一些力气才能看到， 如果相黏在一起就更难看到了。 结论是如果PDMS太软即使翻出来也会倒(和间距也有关)，太硬可能会在脱模过程中断掉。 我曾做过直径约150 nm，高度约1 um的结构，不过脱模後看起来就像一团面条...= =+ 目前超过1:10的结构要能直立大多是用H-PDMS。 若排除表面处理问题，建议原PO可以再看一下SEM。看是不是都倒了(太软)或是断在 模子里面(里面)。 --

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