作者bb0303 (ZZZ)
看板NEMS
标题[问题] 用正光阻LIFT OFF
时间Wed Apr 10 08:55:34 2013
抱歉又上来问问题
因为目前只能使用正光阻去做黄光 (不然我也想用负光阻阿...)
而小弟遇到的问题是
上光阻→镀完金属→发现有个地方lift off 不掉
线宽大约20um
很明显是整个被金属覆盖住
想请问有没有甚麽办法可以lift off 掉阿
原本小弟是想在上面划一刀好让光阻流进去，但这想法实在太天真，因为根本太小...
我有震洗过...震洗结果是其他地方金属有盖率被震洗掉，
现在很懊恼 请求有经验的版友可以提供意见让我试试看
感谢大家的回答 如果需要甚麽补充我会再补充 感谢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 111.254.122.164
1F：推 SkyLark2001:建议先爬文，有太多讨论了 04/10 14:41
恩 我爬过了
想到的方法 用毛笔刷~但只有20um...虽然没试过但我觉得可能没效
我刚刚去泡丙酮放一小时多 看起来是不为所动 ~_~
所以恳请版友看还有没有甚麽方式 感谢
※ 编辑: bb0303 来自: 140.117.165.40 (04/10 15:01)