作者SkyLark2001 ( )
看板NEMS
标题Re: [问题] 蒸镀相关问题
时间Fri Feb 8 07:44:04 2013
原本的曝光时间 x 1.5倍。假设原先10s的话改15s, 原先3s改成4.5s
然後你的载玻片若不怕进氧电浆的话硬烤後拿进氧电浆descum一下。
另外这样测试黄光参数若太耗费成本耗费时间的话可以用手边可用的sputter镀
便宜金属(铝啊铜啊)去测试。只要sputter的金属不会掉，evaporate的就不会。
※ 引述《liliihana (花仔*)》之铭言：
: 目前正在做lift-off制程
: 玻璃有利用丙酮，酒精，异丙醇，DI水，烤乾等清洗过
: 先用黄光做完结构之後(最小线宽10um)，再蒸镀Cr、Au或Ti、Au
: 光阻是用AZ1518
: 请问蒸镀之後需要搁置一段时间才能浸泡丙酮吗?
: 我一泡入丙酮整片金就脱落了...@@
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本球队一切依法行政，谢谢指教。
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 69.91.156.147
1F：推 liliihana:感谢大大解惑~! 02/17 10:06
2F：→ SkyLark2001:这只是建议而已，您可以做成功之後再来跟大家分享 02/17 13:31