不知道你的基板是否一定要用玻璃? 根据我们做了一些实验的经验 玻璃上面制作SU-8结构，小线宽通常都会出问题 我没有去找文献之类 根据我们自己猜测的想法，底部是玻璃的时候 紫外光穿透玻璃折射，再透过底部反射回来， 会导致不是patten位置的SU-8被曝光到 所以小线宽的情况，可能就看不到结构成形，因为所有SU-8都被曝光了。 几个方式可以验证， SEM观察你所制作的5um线宽的结构，是否跟光罩设计尺寸相同， 若有反射曝光的情况，理论上线宽会变大。 改善的方式，我觉得将基板换成Si wafer可能可以解决。 ※ 引述《tengyuan (tengyuan)》之铭言： : 我使用负型光阻SU-8 GM1040的参数，我的基板是玻璃 : spin coating step 1 1000rpm/10sec : step 2 8000rpm/40sec : soft bake 65度/10min : 95度/15min : expose 8sec : post expose bake 65度/10min : 95度/15min : developer 使用PGMEA 时间 1min~1min30sec : 异丙醇 时间 15sec~20sec : hard bake 135度/1~2hr : 我要显影线宽1um，周期2um的栅栏式的图型 : 线宽5um，周期10um跟线宽10um，周期20um的图形都没问题 : 请问我该去改哪步骤的参数呢? --

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