作者tengyuan (tengyuan)
看板NEMS
标题[问题] SU-8 GM1040显影 1um
时间Thu Oct 11 18:42:36 2012
我使用负型光阻SU-8 GM1040的参数，我的基板是玻璃
spin coating step 1 1000rpm/10sec
step 2 8000rpm/40sec
soft bake 65度/10min
95度/15min
expose 8sec
post expose bake 65度/10min
95度/15min
developer 使用PGMEA 时间 1min~1min30sec
异丙醇 时间 15sec~20sec
hard bake 135度/1~2hr
我要显影线宽1um，周期2um的栅栏式的图型
线宽5um，周期10um跟线宽10um，周期20um的图形都没问题
请问我该去改哪步骤的参数呢?
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