作者kevinho0603 (LockerWei)
看板NEMS
标题[问题] 有点笨的曝光问题
时间Thu Sep 6 15:57:42 2012
请问各位大大
小弟第一次接触MEMS
想请问一个可能大家会觉得很蠢的问题
请问
应该大家都知道这公式
曝光秒数=曝光剂量(mJ/cm2)/照度(mW/cm2)
照度用照度机量测对吧
我想知道曝光剂量怎麽知道的
是要看光阻?还是机台?还是用算的??
不然我没办法知道要曝光多久啊.....
请位大大教教我
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 163.13.136.153
1F：→ jam46:看光阻, 来源嘛....原厂网页找找看, 不然就问问看业务 09/06 22:50
2F：→ kevinho0603:我用的是AZ4620 但我看他的DATASHEEP都没讲到这些东 09/07 19:03
3F：→ kevinho0603:我用的是AZ4620 但我看他的DATASHEEP都没讲到这些东西 09/07 19:04
4F：→ madmoon:你网路上很多曝光参数吧??就算找不到厂商的,硕论也很多啊. 09/10 15:23