作者jen0410 (~任~)
看板NEMS
标题[问题] PMMA光阻後接lift-off
时间Wed Aug 1 01:49:40 2012
版上的先进大家好，
小弟最近在实验上遇到了一些问题想来请教版上的意见。
目前制程是这样 coating PMMA(250nm) -> E-beam lithography -> E-gun蒸镀40nm ->
-> lift-off
遇到的问题是lift-off不起来，PMMA应该是一进ACE就溶的差不多了，不过金属膜不会
随着PMMA的溶解而浮起，产生类似stiction的现象，黏在表面了，最近尝试发现ACE ->
-> IPA -> 慢慢加水在试片表面形成液珠 ，这时候金属膜就会因为水的表面张力被拉
起来了，不过遇到两个问题，1. 没办法完全lift-off，2.lift-off後的形状不漂亮，
老板说有奈米的东西不准我们用超音波震= = 希望有人能解惑，谢谢。
另外一问，老板一直说台湾的E-gun蒸镀太慢(我度率大概在1.5A/s)，他说在美国随便做
都3A/s以上，想请问有谁听过哪边有镀率很高的E-gun蒸镀(非Al) Orz...
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 118.169.72.117
1F：推 nevinyrrals:你的线宽大概多少? 08/01 15:48
2F：→ jen0410:目前在测试 10nm 20nm .... 150nm 08/01 18:07
3F：→ nevinyrrals:我觉得你还是可以私下尝试看看用震洗的行不行 08/01 18:19
4F：→ nevinyrrals:如果不行就算了 可以的话图形应该会比目前的清楚 08/01 18:20
5F：→ nevinyrrals:蒸镀时电流再加高应该可以过3A/s 不过你的膜也不厚 08/01 18:24
6F：→ nevinyrrals:好像也没有必要就是了 08/01 18:25
7F：推 oax:有check过pmma厚度吗?会不会比预期薄? 08/07 21:41
8F：推 Jeffch:金属应该可以蛮快的...但要看真空度能不能维持... 08/10 07:18
9F：→ shtsao:个人硕论做法是拿针筒装ACE并在ACE溶液中朝SAMPLE区做冲洗 11/15 23:36
10F：→ shtsao:至於e-gun 可以考虑中研院物理所NanoCore组的设备 网路找找 11/15 23:45