作者bank00177 (康康)
看板NEMS
标题[问题] 压印图案复制不完全
时间Mon Jun 11 13:10:16 2012
想请问版上的各位
此实验室利用反向压印，在PDMS上涂布光阻後，藉由压印机压印PDMS，
但我的图案没有办法全部转印上去。
如果压在4寸的蓝宝石基板上，脱模後外围的图案都能完全转印，
但只有中间的图案无法转印。
接着我有试过用热压的方式，脱模後却变成中间有一条一条的痕迹，
而外围的图案一样能转印过去。而PDMS中间却没有残留光阻。
我用OM去观察一条一条是甚麽，观察出来感觉我的线宽只是比较小，
却想不出比较具体的原因。
因此在这想问问大家有没有甚麽想法?或觉得问题出在哪里?
这问题困扰了很久，谢谢。
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1F：推 fionC:4寸的BOW是-20~30um 这个方法中间图形转印不上去的吧... 06/20 22:30
2F：→ bank00177:那请问F大 有没有其他方式可以让中间的图案能转印过去? 06/24 20:59