作者ccczxzx (Pen)
看板NEMS
标题[问题] Photoresist as dielectric
时间Sat May 26 13:33:31 2012
各位板大大家好
小弟是第一次在这个板上发文 @@
废话不多说
小弟最近在做 EWOD 相关实验
发现有些人会使用 SU-8 当作 dielectric layer 使用
但文献的 protocol 并未描述得很清楚
有的直接 spin coating 及 bake 後就涂上 hydrophobic layer
但有的说要曝光 显影後 (显影太久不就吃掉了?) 再涂 hydrophobic layer
我不知道哪个是正确的
不知道板上大大有哪位知道答案呢?
是因为曝光後可以增加 hydrophobic layer 与 photoreisit 的附着吗??
另外有个小问题想顺便问问
我现在再用另外一款的 photoreisit 在做 dielectric
可是都会出现电解的状况.... 不知道是什麽原因
再麻烦各位大大帮助罗
感激不尽
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