作者jianhung ()
看板NEMS
标题[问题] 多层s1818光阻
时间Thu May 17 21:09:42 2012
大家好，又来请教一下
最近在测试多层s1818
基板是Si
参数分为2次、3次、4次的涂布
我用的是2000 rpm，软烤90度3分钟
每一次的做法都相同，仅涂一次HMDS在基板上
以先前的经验，1层的厚度约2um
然而我发现光阻厚度不是一次一次垒加上去
经过4次涂布，厚度也不超过4um
老师对这个结果很不以为然
他认为厚度应该会更厚
请问是因为我烘烤的程度不够
还是光阻与光阻之间的附着力本来就不好呢?
谢谢!
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 111.255.41.2
1F：→ Jing602:之前涂过S1813四层 单层1.3um四层才不到2um 05/18 14:50
2F：→ Jing602:建议直接换光阻比较快 05/18 14:51