作者liweits (LAZZYER)
看板NEMS
标题[问题] AZ5214或负光阻
时间Tue Apr 10 14:06:33 2012
因为制程需要，需要用到负光阻作为挡层，
所以之後要去掉(容易去掉的，不是作模的)，请问有没有什麽适合的负光阻，
我有查到可以使用AZ5214作反转烤，
但是因为时间紧迫，问了景明，没想到要十周才能来(吐血)
想请问有没有哪家实验室有AZ 5214，可以跟你们买，
或是有什麽适合的负光阻可以推荐一下，
因为实验室没几人有相关经验，没人可以问，拜托大家了
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青 ╱￣￣＼
黄 ∕￣￣￣﹨
赤 _MARINE_
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◆ From: 140.114.12.29
1F：推 pttresident:AZ5214E是方便可当正、负光阻用 04/11 14:27
2F：→ pttresident:除非你是需要负光阻边缘的倒倾角特性 04/11 14:28
3F：→ pttresident:不然lift-off还是像下篇回文说的，用正光阻做较常见 04/11 14:29