作者bank00177 (康康)
看板NEMS
标题[问题] PDMS次微米模具制作
时间Mon Apr 9 15:06:32 2012
大家好 现在有一些问题想请教版上各位
目前在作次微米的PDMS模具有些制作上的问题
矽模具为线宽700nm 间距500nm 的三角排列 洞状结构 大小为两寸在大一点
制作方法如下:
PDMS有上下两层 硬性的PDMS为X-32-3094-2及软性的SYLGARD 184
制作方式是用硬性的PDMS+凝固剂+矽油=10:1:1 均匀搅拌後倒在SI模具上
接着抽真空把气泡抽出後 破真空在静置一小时 烤硬的时间为一小时 70度
烤完冷却後再接着到软性的PDMS+凝固剂=10:1 均匀搅拌後倒在硬性模具上
由於硬的PDMS比较贵 叫货等待的时间也比较久 所以才把PDMS作DOUBLE LAYER
烤的时间也是一小时 70度 冷却後再自行脱模
可是翻模出来结构的完整性不是很好
不知版上各位是否觉得某个步骤需要改正或着是有更好的方式可以提供
谢谢!!! ^^
再问一个问题 矽油主要的功用是甚麽
因为在作微米结构的PDMS根本不需要用到矽油
一到次微米感觉非用矽油不可 可以麻烦大家解答吗???
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.135.97.172
1F：→ bank00177:再灌pdms之前会先在si模具上上两次离型剂 SR-5764 04/09 15:13
2F：→ bank00177:烤的参数为 110度 90秒 04/09 15:13