作者leoisthebest (铭哥)
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标题[问题]PDMS蒸镀金属制程问题
时间Thu Nov 24 16:12:04 2011
是这样的
小弟最近在尝试一个在PDMS上制作金属结构的制程
实验步骤大致如下:
先用微影定义区域→蒸镀10nm Au→丙酮去除光阻(如此只有先前无光阻处会有金)→
再蒸镀Ti 10nm/Ni 50nm→用超音波震荡去除Au
现在小弟遇到了几个问题
(1)在去除光阻的过程中金膜会有剥落，或是光阻去除不完全问题
(2)最後用超音波震荡无法去除Au
其中(2)的问题比较让我苦恼
有板上哪位大大能提供一些意见吗?
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◆ From: 140.114.108.84
1F：→ melvyn:1)的部分我想式蒸镀金的时候把光阻又再次加热 导致光阻过乾 11/30 17:10
2F：→ melvyn:2)的部分，PDMS与Ti/Ni层中夹的Au，会因为震荡就被去除吗? 11/30 17:11
3F：推 cyw7412:想请问一下~用丙酮去光阻不会影响PDMS吗? 01/11 20:08
4F：→ cyw7412:因为我也需要镀金属在PDMS上,怕丙酮会吃PDMS 01/11 20:09