作者roguematt (麦~~特)
看板NEMS
标题[问题] PDMS上镀铜
时间Tue Jul 12 19:39:43 2011
小弟的实验室是用一般热蒸镀机
镀出来的结果有镀上去但用三用电表量测是无导通的，
而且因PDMS是软性材料，镀上去都会有裂痕。
文献上在PDMS上镀金属都会先镀Cr或Ti 再镀上要的金属。
请问有人在PDMS上直接镀铜或PDMS上镀过金属当做导线吗?
顺便一提，蒸镀机或溅镀机有办法镀100um以上的厚度吗?
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.135.97.54
1F：推 spp100:溅镀100um 要不电子枪昇天 / 要不膜剥落 07/12 21:02
2F：→ roguematt:一般蒸镀或溅镀的厚度上限大概为多少!? 07/12 22:43
3F：推 Zoma:数百nm就算很厚了...建议先溅镀薄铜再用电镀加厚~ 07/12 22:57
4F：推 Jeffch:推电镀加厚 07/13 03:00