作者taro1986 (芋头)
看板NEMS
标题[问题]玻璃黄光制程问题
时间Tue Feb 22 23:02:19 2011
想请问一下
我是用玻璃做AZ4620的黄光制程
每次显影完後
非结构地方(应该要显影掉的地方)都会出现一大面雾状泡泡
原本想说是否是HMDS的问题
所以又制作一片没有HMDS的试片
结果还是一样
不知道有没有人有发生相同状况可以提供一点意见?
感恩!
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.113.174.21
1F：推 Jinuse:应该是过曝吧 02/23 00:53
2F：推 SkyLark2001:楼上说的没错，你描述的情形是过曝，但我建议延长软烤 02/23 03:03
3F：→ SkyLark2001:时间 02/23 03:03
4F：→ taro1986:了解 我试试看 感恩! 02/23 04:38
5F：→ jackarlo:e 02/24 11:33