作者SkyLark2001 ( )
看板NEMS
标题Re: [问题] 玻璃蚀刻
时间Tue Feb 15 10:21:39 2011
※ 引述《areckin (女王万岁)》之铭言：
: 我想请问版上有人有用RIE的CHF3气体来蚀刻玻璃(康宁出产的无硷玻璃)的经验吗?
: 一般矽晶片可用这种气体来蚀刻
: 那蚀刻玻璃会有问题吗?
: 请版上大大指点一下 谢谢!
http://tinyurl.com/49kr7xl
这一台机器我平常在用，刚好这机器就是接CHF3而不是接CF4
更刚好的是但你可以发现 etch quartz时不需要用到 CHF3 (orz)。
另外你可以在里面找到一些细节
比方说是建议用金属 hard mask (Cr or Al)等等。
此外300W的 power 真的挺大。对这台机器而言平常对於Si, Oxide or Nitride
的蚀刻全都控制在 75 or 50 W。现在叫我开到300W我还会怕。
(虽然这台机器理论上可开到600W)
你可以询问一下你的RIE Superuser是否可以将瓦数调那麽高
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 128.95.165.23
※ 编辑: SkyLark2001 来自: 128.95.165.23 (02/15 11:48)
1F：推 areckin:谢谢大大的建议~ 02/15 20:20