作者areckin (女王万岁)
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标题[问题] 玻璃蚀刻
时间Wed Feb 9 19:23:03 2011
我想请问版上有人有用RIE的CHF3气体来蚀刻玻璃(康宁出产的无硷玻璃)的经验吗?
一般矽晶片可用这种气体来蚀刻
那蚀刻玻璃会有问题吗?
请版上大大指点一下 谢谢!
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.109.214.4
1F：推 s75287:我只有用过 RIE CF4 etch oxide过.玻璃 效果应该很差 02/10 03:51
2F：推 s75287:因为我的substrate是用玻璃 感觉没有很明显被etch ? 02/10 03:52
3F：推 ybchen:你要蚀刻的深度有多少 我们是有蚀刻过<1um深度的 02/11 16:48
4F：→ areckin:<1um深度是我想尝试的,y大可否指导一下 thx~ 02/12 18:17
5F：→ ybchen:主要做实验的是学弟，不过也没听他们说有啥问题耶 02/19 23:52
6F：→ ybchen:你是用什麽当蚀刻挡罩 我们是直接用光阻就可以了 不过我们 02/19 23:54
7F：→ ybchen:是希望能够吃出梯度的形状 所以利用光阻蚀刻过程逐渐消耗来 02/19 23:55
8F：→ ybchen:办到 如果你要吃很垂直的边壁 就看你的蚀刻挡罩选择罗 另外 02/19 23:56
9F：→ ybchen:我们的线宽是小於200 nm的 如果线宽粗 那一点点的梯度斜边 02/19 23:57
10F：→ ybchen:是不会感觉到的 02/19 23:57