各位好， 最近我正在寻找一种能够做选择性金属氧化的微制程。但是所谓选择性金属氧化，是指 同时有曝露出两块金属面，只将其中一块氧化成介电绝缘层，另一块尽量维持金属面， 之後再沉积金属在上面做contact。基於某些原因，不能用mask的方法盖住其中一块金属 进行选择性氧化，而比需利用化学、物理、或其他原理来选择性氧化其中一块金属。 现在想到的，是类似选择两种氧化速度不一样的金属来做，像是铝跟金等等的，或是用 化学特性来对不同金属进行氧化。还有一种，就是用阳极氧化来反电镀，将其中一块 氧化，比方Anodize氧化铝制程。但是这需要能有办法将要氧化的那块金属导电导出来。 不知道各位有没有接触过什麽类似的制程或化学方式，可以完成这样的需求呢? 或是有 什麽方向可以提供作为搜寻的关键字? 感激不尽 --

※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc) ◆ From: 128.227.210.66 ※ 编辑: CRAZYDRAGON 来自: 128.227.210.66 (01/08 01:59)