作者linkuanyu (linkuanyu)
看板NEMS
标题[问题] Si-7740 glass 阳极接合
时间Tue Dec 28 21:56:47 2010
请问一下
台湾哪个单位有可对准、可抽真空的阳极接合机
目前我只找到清大有一台阳极接合机但是无法对准
清大的做法是必须要在其他机台进行对准之後再移动到阳极接合机台
因此 希望能找到符合我的需求的机器
在此先谢谢大家的帮忙
麻烦了 ^^
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◆ From: 140.112.39.127
1F：推 s75287:应力所学长or学弟? UCLA有...XD 12/29 07:42
2F：推 s75287:可以对准 我不确定可不可以抽真空.. 12/29 07:43
3F：推 cbshu:清大的EVG bonder可以对准,用旁边的EVG曝光机。 02/19 16:06
4F：→ cbshu:bonder的holder可以直接装进去align,有bonder的module 02/19 16:06