作者wang0719 (麦子)
看板NEMS
标题[问题] 热膨胀系数
时间Thu Jul 1 16:23:42 2010
我遇到一个问题
我要sputtering 两层薄膜
但在退火的完以後膜裂掉了
结构是lsmo/pt/TiN/Ti/SiO2/Si
退火速率每分钟20度
lsmo的热膨胀约12
pt约9
这样子为什麽退火完以後薄膜还会裂掉呢??
谢谢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 210.240.249.242
1F：→ leox243:Ti/SiO2这层你没算吗? 07/01 20:40
2F：→ wang0719:回楼上...Ti/SiO2这边我会注意~~谢谢 07/01 21:52
3F：推 jovibon:用thermal oxide铁定不会裂 07/11 23:19
4F：→ leox243:thermal的话我长过1um上面盖Ti和其他叠层 07/12 15:18
5F：→ leox243:退火到1050度，破得乾乾净净，露出乾净的substrate 07/12 15:19