作者l6k5j4 (我不是暗黑....)
看板NEMS
标题[问题] 如何解决E-Gun电流乱跳
时间Tue Jun 29 17:00:41 2010
我们实验室最近在蒸镀时
发现它的电子束电流会乱跳
原本正常时转动一格是微调2mA
但现在还没转就从0mA冲到40mA甚至100mA以上
并打裂了坩锅
请问是哪个环节出了问题?
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 203.64.182.44
1F:推 IamYourBoss:请定时清理&维护机台(ex:腔体清洁) 并请厂商来修理 06/29 18:03
2F:推 ccitmdl:是因为短路吗?? 06/29 20:15
3F:推 xcent:@@"...好强的电流...我Lab的E-gun看过最大也才2.7mA 06/30 12:34
4F:推 eatwai:打到乾锅了 .. 电子束位置注意一下 09/14 21:52