作者Harki (Brin)
看板NEMS
标题[问题] 洗4" Wafer用的 teflon洗盘!?!?
时间Thu Jan 7 21:54:28 2010
第一次在次po文
想请叫大家一些问题!
最近我们老师希望我在做Spin coating时，
直接使用 4" 的wafer去做，但目前lab里没有那麽大的器
材可以装BOE做为清洗4" wafer使用，
想请问类似在做wet bench，其所使用的洗盘 烧杯都是coating Teflon的吗!?
这些东西又该向那个厂商购买呢!?
因为和我们lab常接触的厂商似乎都没有卖!?!
lab 第一次买这一类的东西!
可否请大家推荐一些厂商?
谢谢大家!
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 123.204.116.200
※ 编辑: Harki 来自: 123.204.116.200 (01/07 21:54)
1F：推 paullai:NDL似乎有4寸wafer洗架 (不确定是否为Teflon) 可以问看看! 01/07 23:23
2F：→ paullai:(我是指问看看他们跟哪家厂商订购的~) 01/07 23:23
3F：推 xcent:如果只洗单片，自己买Teflon回来做就可以了！ 01/08 11:23