作者hman1003 (hman)
看板NEMS
标题Re: [问题] 利用椭圆仪量测有吸收的材料要选啥model?
时间Mon Nov 23 11:35:04 2009
※ 引述《newbrain (matlab=中学数学)》之铭言：
: 最近用到椭圆仪量测我们一款ARC的阻剂
: 这个阻剂在短波长用柯西模型 完全fit不中
: 不晓得要选择哪一个模型会比较好做fitting?
: 在这里先谢过了
: 注：365nm时这个阻剂的n/k:1.8/0.34
有两种做法 一个是你直接把光组倒培养皿之类的容器
让光组厚度很厚(~mm) 直接量pseudo dielectric constant就可以了
另一个做法是 要先找出不吸收的波段 用Cauchy model先找出膜厚
固定膜厚之後 再以point to point fitting n k (or permittivity)
这个时候需要fitting变数变少了 就可以针对n k建立oscillator model
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