作者s75287 (弹珠汽水)
看板NEMS
标题[问题] ITO etching
时间Wed Oct 28 11:59:06 2009
ITO etching我采用 wet etching的方式
但是感觉 10um的线宽pattern很容易被吃掉
不晓得有没有人有这样经验
或者有人试过 dry etching?
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◆ From: 76.87.91.46
1F：推 Jinuse:可以考虑一下改变蚀刻液的种类 蚀刻温度 会有不同的结果唷 10/28 12:00
2F：推 ctsimon:用草酸比较好~~~没有ito蚀刻液那摸快!也比较稳定! 10/28 12:45
3F：→ s75287:草酸 我怕蚀刻太久 是不是底切会更严重? 10/28 14:24
4F：推 ytr3344:鯝宒腔 蜊綎竭嗣呫睿匚仅 10um岆竭褣란隅腔 10/28 20:50
5F：→ cccfboy:楼上火星文 11/04 17:36
6F：推 kuany:有字天书 太难了 11/05 04:44