作者s75287 (弹珠汽水)
看板NEMS
标题[问题] 镀 silicon oxide 的问题
时间Fri Oct 16 00:22:48 2009
我想镀一层oxide 在有nickel pattern的glass上
想问一下这样是否镀的上去? 镀上去後要如何判断有镀上去?
我目前是要在有nickel pattern的地方用pulse laser去打
但是镀上一层oxide之後laser一打 会有部分 nikel pattern掉落
不禁让我怀疑我oxide根本没有镀上去...
所以请教各位了...
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把相簿放在签名档里面。。。。是投资。是投资。是投资
不要点～不要点～不要点～
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都跟你说"是投资"了还点 你是种花职棒的总教练吗= =
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 76.87.91.46
1F：推 quaintness:Nickel电镀在Glass上面,Seedlayer是Ti/Au,做完就容易掉 10/16 03:33
2F：→ quaintness:原PO有遇过吗?!还有oxide应该不是PECVD，是e-gun??? 10/16 03:35
3F：→ quaintness:镀!? 这动词真酷○rz 10/16 03:36
4F：→ s75287:oxide 是用PECVD没错... Nickel 没有用任何附着层... 10/16 11:46
5F：→ s75287:不会掉... 10/16 11:46
6F：→ s75287:忘了讲 Nickel 是用 e-beam 镀上去的.... 10/16 11:47
7F：推 kuanun:其实oxide 也可以用e-gun 镀..... 10/16 12:10
8F：→ s75287:我用PECVD镀很快...所以用PECVD镀... 10/16 12:29
9F：推 tzjwinfcha:用三用电表量阻值 10/16 12:53
10F：→ s75287:听起来是好方法....!!! 还有其他的嘛? 10/17 04:35
11F：→ s75287:因为我的Ni 是非常小的pattern 难量 不然我就要重弄一大片 10/17 04:36
12F：推 pttresident:可以考虑连空片都一起下去长，空片有长到，另一应也有 11/03 19:51
13F：→ s75287:我有放Si破片当reference 但是我得base是glass....怕不一样 11/04 11:08
14F：→ leox243:那就放GLASS当REF啊= = 11/04 20:43
15F：推 pttresident:如果用glass当ref的话，还要能有办法判断有没有镀到 11/13 11:34