作者edcu (没有心的心)
看板NEMS
标题[问题]关於SU8-1075 & SU8-1070的问题
时间Mon Oct 12 13:02:41 2009
小弟因为要做结构的关系，需要底层先旋涂约50um的高度後再旋涂一层约250um的
高度(两层光阻中间有夹放东西，)，实验室目前有的光阻就是 1075 & 1070，所以
想法就是先旋1070的50um软烤後再旋1075的250um，只是不知道这样子的两个光阻
能不能叠在一起做 ? 再来就是参数的问题，如果两个光阻可以叠在一起，那要怎
麽选用硬烤跟曝光参数?? 麻烦大家给我点意见了，3q~
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◆ From: 140.121.125.94
1F：推 Ice98:两层的pattern是否相同? 上面那层有悬浮结构吗? 10/12 13:45
2F：推 Jinuse:之前看SPEC他是写不要完全烤乾就可以再上另一层 10/12 14:10
3F：→ edcu:两层的PATTERN算是一样的~然後上层没有悬浮结构~ 10/12 16:19
4F：→ edcu:那我参数的设定是要以1070为主还是1075?? 或是要另外设订定? 10/12 16:21