作者tzjwinfcha (TZJ)
看板NEMS
标题[问题] 如何消除结构应力
时间Fri Jun 5 20:16:25 2009
小弟目前在设计一mirror，材料为矽
使用ansys观察应力(1st principal stress)变化情形，
虽然规格可以达到(共振频、旋转角及尺寸)，但是在扭转轴部份，
其应力值都没有办法降到1GPa以下，
扭转轴有做圆角设计，也有做"弹簧"设计，
不知大家还有什麽办法可以降低应力呢?
感谢!!
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MEMS一级棒
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