作者Nicholas0917 (哞)
看板NEMS
标题[问题] lift 光阻去不掉
时间Tue May 26 22:51:39 2009
各位大大....我想请问一下
我是用sputter镀铝 再去泡丙酮来lift-off
可是都lift 不掉
到底是有甚麽问题??
我的device又不能拿去超音波震
我用的光阻是AZ5214反转
而且以前都lift的掉
就最近不行
我把铝的厚度降低也不行
到底还有甚麽方法 急急急
拜托了各位大大
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