作者wade1314 (D_wade)
看板NEMS
标题[问题] 矽材钻孔？
时间Thu Apr 16 23:09:50 2009
请问想在silicon wafer用蚀刻的方式吃穿有什麽方法？
除了 电化学蚀刻 或 ＤＲＩＥ 有其他方法吗
是否有其他的钻洞方式
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 218.168.182.225
1F：推 Ice98:KOH 04/16 23:50
2F：→ max19820403:KOH不是只能吃角度 能吃穿吗? 04/17 01:23
3F：→ qooyen:根据你开的孔径大小 如果开口越大 就能够吃穿 04/17 01:37
4F：推 tzjwinfcha:用雷射钻孔? 04/17 12:46