作者ken9110 (小蝙蝠)
看板NEMS
标题Re: [问题] 请问何种腐蚀液可以清洗掉钐跟钴
时间Sun Mar 8 12:20:45 2009
※ 引述《Ice98 (又寂寞又美好)》之铭言：
: ※ 引述《olynn (堕落)》之铭言：
: : 我用钐(Sm)跟钴(Co)当作催化剂
: : 可是反应完之後钐跟钴黏在基板的表面上
: : 我用氢氟酸去etching之後都没有反应
: : 请问什麽腐蚀液可以清洗掉它们
: : 谢谢~~
: http://www.ee.byu.edu/cleanroom/wet_etch.phtml
: 里面有各种金属的蚀刻液调配参数
: 不过没有samarium 就是了
各位先进你好
我想问如何计算蚀刻氧化层下的金属
它会侧蚀刻多少范围
我现在是要做蚀刻氧化层下金属
不过都不知道有没吃乾净
目的是要释放悬臂梁
谢谢
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◆ From: 140.124.32.177
1F：推 hungin:做个尺寸相同dummy的悬浮结构观察..结构飘掉应该就吃完了 03/09 19:01