作者asdwqq (我喜欢甜蜜的感觉)
看板NEMS
标题[问题] 残留应力的模拟
时间Tue Mar 3 18:43:35 2009
有关於软体部分的问题我已经知道答案了，谢谢热烈回覆
现在我有另一个问题了...如果想要减少薄膜的残余应力
有什麽方法或是一些该注意的基本rule需要注意呢?(材料部分先不探讨)
我自己知道的有:
圆形薄膜就比方形薄膜好...还有一些在layout上可以设计一些皱摺
来降低残余应力....那还有哪些方法呢?
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◆ From: 140.124.32.64
1F：推 Ice98:制程温度能多低就多低 XD 03/03 20:09
2F：→ lucker:好像要看啥材料 有些可以高温退火 减少残余应力 03/13 12:54