※ 引述《divhexa (迎风)》之铭言： : 小弟最近正在做微机电的模拟，做的是残留应力这一块 : (因为只是专题生老师不给碰制程，所以若问了蠢问题请见谅@@") : 我想问的是：金属的残留应力梯度在不同制程下，有可能会反过来吗？ : 就是说一片金属薄模在残留应力的影响下有可能会向上(或向下)弯曲 : 但是有没有可能同种金属在不同制程下导致朝不同方向弯曲呢？ : (即某金属用A制程，结果会向上弯曲；用B制程会向下弯曲) : 可能表达的不是很好 请见谅 : 对了，老师要我模拟的材料是金(Au) 基本上金属薄膜的残留应力在不同的制程下的大小是会不一样的， 但是其他会影响的因素也是有的， 最简单的例子就是相同制程， 但是厚度不同会具有不同的应力，可能是张应力也可能是压应力， 这方面的问题应该有许多的文献了， 你可以查询看看。 --

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