作者MicroOptics (啦)
看板NEMS
标题[问题] 如何得到剖面的耐米结构SEM
时间Sat Jun 14 20:30:25 2008
大家好
我的问题是
我在SI上长20000A的SIO2
然後制作周期为300~600nm
线宽为100nm深度为100nm的1D或2D结构
我至今最好的SEM图是边缘有破裂的
换言之无法用於paper或申请文件上的
有没有人有办法或其它资源的 谢谢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.5.24
1F：→ MicroOptics:顺便问一下 PDMS要如何照SEM呢 06/14 20:31
2F：推 cmkv7rdf:先渡一层金属钯材在上面 在用SEM照会比较清楚 06/14 20:47
3F：→ cmkv7rdf:记得贴铜胶带在sample上增加导电度! 06/14 20:48
4F：推 serve:用dual beam FIB切完後 倾倒直接照cross section SEM 06/15 00:44
5F：推 oactioner:镀金属建议选用Pt表面比较平整 镀黄金是比较常见 06/15 00:48
6F：→ oactioner:剖面通常都是 就是倒过来剖面向上 底下黏10元硬币 06/15 00:50
7F：→ chiio:s大的方法也是我们所采用的方法，效果不错 06/15 20:27
8F：→ chiio:另外请问一下原po，你们100nm的线宽是用什麽pattern出来的呢 06/15 20:28
9F：→ chiio:E-beam吗？ 还是其他方法呢？ 06/15 20:28
10F：推 Timsteven:不然扫AFM吧 krkr 06/16 12:38