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看板NCTU_INT_NDL
标题Re: 较先进的晶圆造制场不用氮气枪，那该如何解决？
时间Fri Jun 16 22:01:37 2006
※ 引述《matsui32 (爱读书的小孩)》之铭言：
: 书上说旧式的100毫米(四寸)晶圆制造厂内才用高压空气枪或是氮气枪
: 较先进的200毫米晶圆制造厂就不用了，因为空气枪能除去晶圆表面上的
: 大型分子，但也会在上面增加小型微粒
: 他说尺寸缩到次微米层次的时候，这个小型微粒就要被考虑进去了
: 没有用氮气枪，那麽应该有解决之道
: 书上没有介绍什麽方法可以解决。不知道有人知道吗？
其实大部分还是用氮气乾燥，但是不会直接用高压氮气去吹乾！
所以现在大部分都是用旋乾机，利用离心力把水赶走，最後在充满氮气的环境下
乾燥！
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◆ From: 59.104.234.97
1F：推 matsui32:感谢 06/17 00:56