作者matsui32 (爱读书的小孩)
看板NCTU_INT_NDL
标题较先进的晶圆造制场不用氮气枪，那该如何解决？
时间Fri Jun 16 20:21:17 2006
书上说旧式的100毫米(四寸)晶圆制造厂内才用高压空气枪或是氮气枪
较先进的200毫米晶圆制造厂就不用了，因为空气枪能除去晶圆表面上的
大型分子，但也会在上面增加小型微粒
他说尺寸缩到次微米层次的时候，这个小型微粒就要被考虑进去了
没有用氮气枪，那麽应该有解决之道
书上没有介绍什麽方法可以解决。不知道有人知道吗？
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