作者hcgroup (fejw)
看板NCTU_INT_NDL
标题Re: [情报] 闷闷闷...Sputter的金靶怪怪的, Therma …
时间Thu Jun 15 20:36:24 2006
※ 引述《book0211 (book)》之铭言：
: 闷闷闷...超级闷的啦!!!
: 花了一下午做了两道黄光: 开via和metal...
: 到了晚上终於要镀contact上去, 没想到Sputter的金靶好像打穿了,
: 而且上面还变成橘色的奇怪颜色, 为了保护我珍贵的samples,
: 转而向皓恒求救, 改用Thermal coater, 整个晚上都在搞这个,
: 结果竟然在lift off的时候, 给我整片都掀起来,
: 是整片掀起来喔!!! 看到我目瞪口呆...........................
: 所以就心情超差的收工回家...闷闷闷...
: 重点是: 失败的原因不明啦............
: 唉...附带一提: 小光小姐, 请你做好心理准备, 准备re-re-work了....
: 这就是实验的无奈变数呀!!! 没想到连我都要re-work...呜呜呜...
不要闷~
小吐一下,你最後一句话有茅盾,若实验有无奈变数,那麽不会因为你是谁
而能至身事外的.
另外,我这几片都活,不知是否引入"铜-金"制程的关系(晶片们,要加油!
别丢我的脸呀~).
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◆ From: 140.110.203.126