作者shibaaragorn ()
看板NCTU_INT_NDL
标题[建议] wet oxide炉管计时器似乎有问题
时间Thu May 18 00:20:02 2006
今天用半岛体中心的wet oxide那根炉管anneal(因为P+坏了)
但设好program 半夜去收片时却还在950度 没有跳到第二阶段
我在run之前有先测试过 升到450 0.1小时 结果没问题 但今天设4小时就不行
之前学长好像也遇到同样的问题 同样是wet oxide这根的program
要做的人注意一下吧..... 才不会空等
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◆ From: 140.110.203.142
1F：推 foreverthere:上次有一批也是这样子@@ 我想起来了 05/18 00:52
2F：推 shibaaragorn:对阿 05/18 01:04