作者KSfish (不下棋 勿扰)
看板NCHU-PP87
标题检漏及有关术语
时间Wed May 16 21:32:29 2007
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5.1漏孔
5.1.1漏孔leaks:在真空技术中,在压力或浓度差的作用下,使气体从壁的一侧通到另一侧
的孔洞、孔隙、渗透元件或封闭器壁上的其它结构。
5.1.2通道漏孔channel leak:可以把它理想地当做长毛细管的由一个或多个不连续通道
组成的一种漏孔。
5.1.3 薄膜漏孔membrane leak:气体通过渗透穿过薄膜的一种漏孔。
5.1.4分子漏孔molecular leak:漏孔的质量流率正比於流动气体分子质量平方根的倒数
的一种漏孔。
5.1.5粘滞漏孔vixcous leak:漏孔的质量流率正比於流动气体粘度的倒数的一种漏孔。
5.1.6校准漏孔calibrated leak:在规定条件下,对於一种规定气体提供已知质量流率的
一种漏孔。
5.1.7标准漏孔reference leak :在规定条件下(入口压力为100kPa±5%,温度为23±7
℃),漏率是已知的一种校准用的漏孔。
5.1.8虚漏virtual leak:在系统内,由於气体或蒸汽的放出引起的压力增加。
5.1.9漏率leak rate:在规定条件下,一种特定气体通过漏孔的流量。
5.1.10标准空气漏率standard air leak rate:在规定的标准状态下,露点低於-25℃的
空气通过一个漏孔的流量。
5.1.11等值标准空气漏率equivalent standard air leak rate:对於低於10-7到
10-8Pa?m3?s-1标准空气漏率的分子漏孔,氦(分子量4)流过这样的漏孔比空气(分子量
290)更快,即氦流率对应於较小的空气漏率,在规定条件下,等值标准空气漏率为√
4/29=0.37氦漏率。
5.1.12探索(示漏)气体;用来对真空系统进行检漏的气体。
5.2本底
5.2.1本底background:一般地在没有注入探索气体时,检漏仪给出的总的指示。
5.2.2探索气体本底search gas background :由於从检漏仪壁或检漏系统放出探索气体
所造成的本底。
5.2.3漂移drift:本底比较缓慢的变化。重要参量是规定周期内测得的最大漂移。
5.2.4噪声noise:本底比较迅速的变化。重要参量是规定周期内测得的噪声。
5.3检漏仪
5.3.1检漏仪leak detector:用来检测真空系统或元件漏孔的位置或漏率的仪器。
5.3.2高频火花检漏仪H.F. spark leak detector:在玻璃系统上,用高频放电线圈所产
生的电火花,能集中於漏孔处的现象来确定漏孔位置的检漏仪(通常用它对玻璃系统进行
检漏)。
5.3.3卤素检漏仪halide leak detector:利用卤族元素探索气体存在时,使赤热铂电极
发射正离子大大增加的原理来制做的检漏仪。
5.3.4氦质谱检漏仪helium mass spectrometer leak detector:利用磁偏转原理制成的
对於漏气体氦反应灵敏,专门用来检漏的质谱仪。
5.3.5检漏仪的最小可检漏率minimum detectable rate of leak detector:当存在本底
噪声时,将仪器调整到最佳情况下,纯探索气体通过漏孔时,检漏仪所能检出的最小漏率
。
5.4检漏
5.4.1气泡检漏leak detection by bubbles:将空气压入被检容器,然後将其浸入水中或
者对其可疑表面涂上肥皂液,观察气泡确定漏孔位置。
5.4.2氨检漏leak detection by ammonia:将氨压入被检容器,然後通过观察覆在可疑表
面上试纸或试布颜色的改变来确定漏孔位置。
5.4.3升压检漏leak detection of rise pressure:被抽空容器与真空泵隔离後,测定随
时间的增加而升高的压力值,来确定漏气率。
5.4.4放射性同位素检漏radioactive isotope leak detection:在被检容器或零件内,
装入适当半衰期的放射性同位素,利用测定从漏孔穿出的放射性同位素的放射能来确定漏
孔位置。
5.4.5萤光检漏fluorescence leak detection :将被检零件浸入萤光粉的有机溶液(三
氯乙烯或四氯化碳)中,漏孔处将留有萤光粉,用紫外线照射萤光粉发光来确定漏孔位置
。
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