产业评析-缺水的科技产业，如何解渴？ (92/10/13) ‧作　者：零组件杂志 作者：谢馥芸 水，看似廉价品，当乾旱来临时，更彰显出其珍贵处。2002及2003年的台湾旱象，一场反 圣婴现象的灾难，仿若世纪初的地球气候乱象，不但民生用水渐渐不足，就连台湾的经济 命脉－科技产业也要叫苦连天了。水，看似廉价品，当乾旱来临时，更彰显出其珍贵处。 尤其对业界而言，无水，制程又如何继续呢？ 那麽，水对科技业界有何用途？以晶圆厂为例，在所有的制程中，以炉管、蚀刻的需水量 最大；由於制程中的晶圆需要大量的纯水清洗杂质，光在炉管与蚀刻等制程，所需的超纯 水水量约占总水量的60％～80％。进入奈米制程後，制程需水量更是有增无减，然而用水 规格高，普遍而言，目前大部分的纯化系统都不敷使用。 就目前二大需水量大的产业－半导体业与TFT-LCD研究，根据水利署资料显示，2002年半导体业一天用水量为9.3万吨，TFT-LCD业的一天用水量为6万吨；2006年时 ，国内半导体业用水量将成长为一天16.5万吨，而TFT-LCD业成长幅度更大，一天即达22. 8万吨。 据了解，目前的新竹科学园区每日用水量约为11万吨，预计2004年最终用水量将为16万吨 。自2002年台湾发生缺水的困境後，许多业者只能靠买水解决工厂运作问题，2003年的状 况仍未比去年佳，若依照园区用水量的成长模式来看，2004年的旱象将更加严重，对我国 产业不疑是一大打击。 根据国科会针对缺水对园区之影响分析，园区供水量不足10％，将通报缺水警讯；供水若 不足20％时，近半数的制程机台将停止运作；一但供水达到30％以上，园区内大部分晶圆 厂的机台势必完全停机，限水措施将严重冲击业界，造成无可计数的损失。 为解决缺水问题，我国产业节水研究最具代表性的单位，即为工研院能资所。能资所即与 美国半导体产业技术研发中心（NSF/SRC ERC for Environmentally Benign Semiconductor Manufacturing)合作「奈米产业超精微制程省水及回用技术」，即强调二个特点，一为废 水资源化，其二则是将制程水回收後用於奈米制程用水，预计使国内IC、LCD产业每年可 节水500万吨，相当於四座12寸晶圆厂的建厂需水量。与业界合作方面，去年力晶半导体꜊Y与能资所合作「12寸晶圆厂奈米级水资源再生计画」，12寸晶圆厂总计耗资新台币10亿 元以上，建置制程用水及废水回收处理设备，该公司并自订目标为85％的废水回收率。 随着半导体、TFT-LCD、奈米材料、生医科技、精密机械模具等产业迈向精微、奈米化的 过程，其所需要的大量用水，将让台湾付出高昂的代价：要不就花大钱做一套节水措施 ，要就准备一起渴死。积极的做法是做好节水系统，也可达到省水、环保的效果，为自 己的厂房节省水成本；消极一点，则是想像自己是农人，得看老天吃饭，老天爷要是不下 多点雨、刮几次夹带大雨的台雨，就得随时有心理准备配合政府的限水措施。往其它方面 想，世界各地并不只有台湾缺水，所以公司外移也解决不了根本问题。最後的办法－不如 去跳祈雨舞吧！ -- 大学有三宝 联谊 翘课 睡到饱 --

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