作者pllywu0301 (宏宰)
看板Mechanical
标题[讨论] 腔体抽真空，管径和时间的关系?
时间Thu Jan 2 15:12:55 2020
想请教各位，目前工作上要对一密闭腔体抽真空，想了解真空泵浦连接至腔体的管径大小
与达到目标真空度的时间是否能够用计算方式了解所需多少时间?
还有一个部份想了解一泵浦可以抽多少空间的腔体才会达到最大使用率，才不会浪费本身
泵浦的能力?
再烦请各位先进前辈指导，是否有参考资料或书籍能够解惑?
感谢大家回覆
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1F：→ FTICR: 多高的真空? 01/02 15:55
2F：→ pllywu0301: 约10-4 torr左右 01/02 16:14
3F：→ FTICR: 低真空范围，限制会是在pump，而非管径，设计不要把管径 01/02 16:29
4F：→ FTICR: 小於pump入口就好 01/02 16:29
5F：→ FTICR: 如果只要稍小於10-3 torr用一颗2-stage oil vane pump就可 01/02 16:31
6F：推 alpha008: -4 torr 一般的机械pump应该没办法达到 01/02 20:14
7F：→ FTICR: 看用油的种类，有些可以到5*10-4 01/02 22:30
8F：→ lukawae: 不会算的话 看厂商型录最快 01/03 21:06
9F：→ lukawae: 再小的PUMP都可以抽很大的槽 花多少时间而已 01/03 21:07
10F：→ lukawae: 小PUMP抽大桶 最大PUMP抽小桶 刚好我都用过了 01/03 21:08
11F：→ lukawae: 制程没要求 那型录上的建议管径就是最直接有效率的 01/03 21:09
12F：→ pllywu0301: 感谢回覆,看型录真的有我需要的资讯 01/04 06:55
13F：推 kodak: SMC 真空吸嘴型录那 有管径管长的计算公式 01/04 19:28
14F：推 kyng: 机械可达到10-5 torr 01/07 09:55
15F：→ tersefreitag: 管径尽量不小於帮浦的进气口，弯头尽量少用减少管损 01/09 15:08
16F：→ tersefreitag: 帮浦的抽速看制程的时间来决定 时间要快就选大的 01/09 15:10
17F：推 gj942l41l4: 三楼正解 真空度不高管径随便配就好 瓶颈在pump 01/10 10:28
18F：→ pllywu0301: 达到目标真空度的时间部份有办法估算吗?假设泵浦速率9 01/10 22:06
19F：→ pllywu0301: 0m3/hr,针对90m3腔体处理要从1atm达到10-4torr,会需多 01/10 22:06
20F：→ pllywu0301: 少时间? 01/10 22:06
21F：→ FTICR: 帮浦的datasheet或说明书会有某体积下，时间对压力的关系 01/11 00:29
22F：推 dragon51: 小弟工厂在台中龙井，专职真空腔体/管路/零组件设计&制 01/30 19:28
23F：→ dragon51: 造，出厂前都会经氦气测漏仪检测，如有需求，欢迎连络！ 01/30 19:28