作者hatsu5400 (莫球)
看板Mechanical
标题[讨论] 关於ALD原子层堆积法的问题
时间Wed Nov 13 16:59:33 2019
不知道在这边的各位大大有没有人使用过原子层堆积的装置
我用ALD堆积hfo2 150cy在矽片上方
出来的结果如下图
https://i.imgur.com/B9dxAiW.jpg
感觉堆积厚度很不平均
（应该说整个就是怪怪的
不知道奇怪的颜色分布那边是什麽...）
有人遇过一样的问题或知道什麽改善方法吗？
考虑到的可能性是温度没设定好（试料台设定275度
但是用红外线摄影机看的时候加热後温差分布状况虽然有一点不一样但是整体还算温度差
不多）
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1F：推 bigbill: 正常不都是2%以内的均匀性吗... 11/13 17:58
2F：推 yfchen1976: 要先看温度分布是否正常 11/13 18:05
3F：→ hatsu5400: 一开始也觉得是温度的分布不正常所以有用红外线摄影机 11/13 18:18
4F：→ hatsu5400: 和热电偶测温度，边缘的地方是由产生一些温差没错但大 11/13 18:18
5F：→ hatsu5400: 致上温度是一致的 11/13 18:18
6F：→ hatsu5400: 还有想请问有温差的时候知道要怎麽解决吗？ 11/13 18:20
7F：→ shiow1026: 热应力问题吧 你退火时间多久？ 11/15 09:51
8F：→ shiow1026: 堆积厚度 你要用拉曼去看才知道 11/15 09:52
9F：推 m9903249: 晶圆的平坦度跟翘曲？ 11/18 23:02
10F：推 aromaQ626: 虽然不是很清楚ALD细节原理 11/21 23:35
11F：→ aromaQ626: 不过以镀薄膜的浅薄观点跟物理光学的角度来看 11/21 23:35
12F：→ aromaQ626: 那个像彩虹的部分应该是薄膜干涉 11/21 23:35
13F：→ aromaQ626: 类似肥皂泡或是马路上水滩上的油 11/21 23:35
14F：→ aromaQ626: 应该不是有什麽奇奇怪怪的东西 11/21 23:35