作者amgoy (英文meeting挫赛)
看板Mechanical
标题[请益] 请问能"自己转动"的机械,在真空中使用的问题~
时间Sun Nov 15 00:07:21 2009
不好意思，小弟不是机械专门。近来制程需要，要能斜向蒸镀，但是不太可能改装蒸镀
机，专门为了我一个45度斜向蒸镀(还要旋转)。
简单画示意图:
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\ (wafer 也要在自己法向量转动)
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U <--钨舟
於是有几个想法:
1. 利用发条，上好发条做一个机构让wafer转动。 (大概要1~0.1rpm 持续4小时即可)
2. 小马达(但电池我查资料应该是不可能进蒸镀机的)
3. 利用正上方有一个可以转动的holder加一些齿轮之类的...
目前倾向朝1方法考虑,但有几点:
1. 真空机里不可以有润滑油等等东西存在
2. 东西不能太重 确切不清楚 但我想1kg以下吧!~
不知道这个想法能否在实务面上能实行?
最後，不知道我该找哪个厂商来订做呢?(预算我想两万以下都还可以接受)
如有相关的前辈能提点实在非常感恩~~谢谢!~
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