作者laiolina (小笨猪)
看板Mechanical
标题Re: [请益] 真空度对溅镀机的影响
时间Thu Oct 23 00:01:55 2008
※ 引述《play173173 (飞天金毛仔)》之铭言：
: 想问一下真空度没原本哪麽高时
: 对溅镀时会有什麽影响
: 要如何检查是否是漏气
: 或着怎麽办断是因为真空pump老化所致
我搞过乾式蚀刻机.是真空设备所以我想概念都一样
基本上真空度的高低会影响到腔体的洁净度
当腔体的水分或是其他气体浓度过高会产生沉积物污染腔体
也会影响机台的效能
基本上判别漏气要分成1.管线2.腔体两部分
1.
腔体应该会有控制压力的阀门,在真空状态下将控制阀关起.观察腔体回压状态
回压速度过快的话就要检查腔体所有的o-ring,大部分都是劣外造成腔体漏气
2.管线侧漏也是保持管线真空状态,将氦气测漏仪装pump入口前端
将腔体压力控制阀关起来,从阀门後段管线逐一喷氦气
假使管线有漏气会吸入氦气,造成pump前端的氦气测漏仪作动
以上是我小小经验供你参考
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